Американские учёные из Ливерморской национальной лаборатории имени Лоуренса совершили значительный прорыв в области экстремально-ультрафиолетовой (EUV) литографии
Бельгийская imec (Interuniversity Microelectronics Centre), одна из крупнейших мировых R&D-компаний, сообщила о «нескольких прорывах», достигнутых в лаборатории.