В России разработали отечественный аналог американского лазера, используемого в литографическом оборудовании.

Компания «Оптические технологии» из Новосибирска создала лазерную систему, использующую ультрафиолетовое излучение для создания фотошаблонов для микросхем. Эта разработка стала первой подобной в России и призвана заменить импортные лазеры Coherent, работающие на длине волны 257 нм.

По словам представителя компании, они занимаются импортозамещением американских лазеров Coherent с длиной волны 257 нм, под которую настроено все оборудование и фоторезисторы. Он отметил, что в России нет аналогов этим узкоспециализированным лазерам.

Отечественная система представляет собой программно-аппаратный комплекс, включающий лазер, усилитель, повышающий мощность лазера до 15 Вт, и специализированный кристалл для преобразования частоты лазерного света.

Предсерийный образец системы уже тестируется на белорусском предприятии «Планар».